Upphandling

Deep Reaction Ion Etcher (DRIE)

TED-nummer

700865-2026

Status

Pågående

Upphandlande myndighet

Uppsala universitet

Sista anbudsdag

10 november 2026

Uppskattat värde

1 SEK

CPV-huvudkod

42000000 – Industrimaskiner

Region

Uppsala län

Publicerad

12 oktober 2026

Källa

Annons i TED

Uppsala universitet upphandlar Deep Reaction Ion Etcher (DRIE). Sista anbudsdag är 10 november 2026.

Om upphandlingen

Myfab Uppsala aims at purchasing a Deep Reaction Ion Etcher (DRIE). The purpose of the tool is to transfer patterns defined by e.g., photo- and electron beam lithography covering the pattens size range from all substrate range down to a few nanometres. The system will be used by many operators in a university laboratory environment. It must be easy to use and be insensitive to frequent change of process between batches. The processes include broad range of etching capability: low to high etch rate, wafer dicing, high uniformity, high open area, high aspect ratio, and nanometre scale. The system is intended for etching of silicon as well as other materials compatible with silicon etching, with both photoresist resins and hard masks for patterning.

Vem har avtalet i dag?

Registret har ingen tidigare tilldelning från Uppsala universitet med samma innehåll. Det här är köparens senaste avtal inom samma kategori.

Relaterat

• Alla upphandlingar från Uppsala universitet
• Fler upphandlingar inom Industrimaskiner
• Kategorin i Uppsala län

Ordlista: Vad är en avtalsspärr?

Uppgifter: TED, Upphandlingsmyndigheten och nationella annonsdatabaser | Bearbetning: Tilldelat (tilldelat.se) | Publicerad i TED 12 oktober 2026 | Originalannons