Upphandling · Finland
Edge-Handling Sputtering Cluster Tool
- TED-nummer
- 548119-2026
- Status
- Avslutad
- Land
- Finland
- Upphandlande myndighet
- TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
- Sista anbudsdag
- 24 augusti 2026
- Uppskattat värde
- Uppgift saknas i källan
- CPV-huvudkod
- 38000000 – Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas)
- Region
- Helsinki-Uusimaa
- Annonsens språk
- engelska
- Publicerad
- 7 augusti 2026
- Källa
- Annons i TED
TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY i Finland upphandlade Edge-Handling Sputtering Cluster Tool. Anbudstiden gick ut 24 augusti 2026.
Annonsen är skriven på engelska. Titel och beskrivning återges som de står i TED, utan översättning. Kategorin anges med CPV-kodens svenska benämning.
Bevaka liknande upphandlingar i Finland
Om upphandlingen
The object of the tender process is an edge-handling sputtering cluster tool (later also “Equipment”). The Equipment is a sputtering cluster tool for 200-mm wafers with wafer edge-handling capability for the VTT Micronova cleanroom semiconductor front end. The procurement includes a deposition chamber with four magnetron sputtering sources. During transport and processing, the wafers are mechanically touched only at the wafer edge, and they can be flipped in vacuum between the processes. The object of the tender process and the technical requirements are described in more detail in the invitation to tender documents.
Relaterat
- Alla upphandlingar från TEKNOLOGIAN TUTKIMUSKESKUS VTT OY
- Fler upphandlingar inom Laboratorieutrustning, optisk utrustning och precisionsutrustning (exkl. glas) i Finland
- Kategorin i Helsinki-Uusimaa
- Pågående upphandlingar i Finland
Uppgifter: TED | Bearbetning: Tilldelat (tilldelat.se) | Publicerad i TED 7 augusti 2026 | Originalannons